光学Zernike分析测试实验

信息概要

光学Zernike分析测试实验是一种基于Zernike多项式理论的光学系统波前像差检测技术，广泛应用于光学元件、成像系统及精密仪器的质量评估与性能优化。该检测服务通过量化分析光学表面的不规则性、像差分布及系统整体性能，为产品设计、制造工艺改进提供关键数据支持。检测的重要性在于确保光学产品的高精度、高可靠性，尤其在航空航天、医疗设备、半导体制造等领域，微小缺陷可能导致重大性能偏差，因此检测是保障产品竞争力的核心环节。

检测项目

• Zernike系数分布
• 波前像差RMS值
• 波前像差PV值
• 离焦量
• 像散量
• 彗差
• 球差
• 高阶像差
• 曲率半径偏差
• 表面粗糙度
• 面形精度
• 光学系统MTF
• 光学传递函数
• 偏振均匀性
• 透射率分布
• 反射率均匀性
• 焦距误差
• 光轴偏移量
• 畸变系数
• 泽尼克多项式拟合精度

检测范围

• 光学透镜
• 棱镜
• 球面镜
• 非球面镜
• 自由曲面光学元件
• 显微物镜
• 望远系统
• 激光光学组件
• 光刻机镜头
• 红外光学器件
• 光纤耦合器
• 光学镀膜元件
• 光学窗口片
• 投影镜头
• VR/AR光学模组
• 相机镜头组
• 医疗内窥镜光学系统
• 天文望远镜反射镜
• 激光雷达光学模块
• 半导体光刻物镜

检测方法

• 干涉测量法：利用激光干涉仪捕捉波前相位信息
• 夏克-哈特曼传感法：通过微透镜阵列分析波前斜率
• 相位偏折术：基于条纹反射原理的面形重构
• 数字全息术：全息成像与数值重建结合的高精度检测
• 莫尔条纹法：通过光栅衍射分析表面形变
• 激光散斑技术：利用散斑场统计特性评估表面质量
• 白光干涉法：非接触式纳米级表面粗糙度测量
• 斐索干涉仪法：绝对平面度与曲率检测
• 动态波前传感：实时监测光学系统动态像差
• 偏振敏感检测：结合偏振态分析光学各向异性
• 傅里叶光学分析法：频域特性与空间频率响应评估
• 共焦显微术：三维形貌与亚表面缺陷检测
• 结构光投影法：快速全场面形测量
• 波长扫描干涉法：多波长合成孔径检测
• 自适应光学校正：闭环反馈优化波前精度

检测仪器

• 激光干涉仪
• 夏克-哈特曼波前传感器
• 斐索干涉仪
• 数字全息显微镜
• 白光干涉轮廓仪
• 相位偏折仪
• 共焦激光扫描显微镜
• 光学传递函数测试仪
• 高精度旋转台
• 精密气浮隔振平台
• 多自由度调整架
• 偏振分析模块
• 动态波前分析系统
• 波长可调激光源
• 高分辨率CCD相机

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