俄歇电子能谱仪(AES)测试仪器-表面分析仪器

俄歇电子能谱仪(AES)

主要用途

俄歇电子能谱仪是用于表面元素分析的高端设备。广泛应用于材料科学、半导体等领域，能够进行微区表面元素分析和化学态分析。

参数指标

分析深度：≤5nm；空间分辨率：≤10nm；检测元素范围：Li-U；检测限：≤0.1at%。

主要样品类型

适用于表面分析材料，包括：金属、半导体、薄膜、涂层等。

主要实验项目

表面元素分析、微区分析、深度剖面分析、化学态分析等。