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二次离子质谱仪(SIMS)测试仪器-表面分析仪器

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二次离子质谱仪(SIMS)

主要用途

二次离子质谱仪是用于表面和深度剖面分析的高端设备。广泛应用于材料科学、半导体等领域,能够进行高灵敏度的元素和分子分析。

参数指标

检测限:ppb-ppt级;分析深度:≤1μm;空间分辨率:≤50nm;质量分辨率:高分辨。

主要样品类型

适用于表面分析材料,包括:半导体、薄膜、金属、陶瓷等。

主要实验项目

表面元素分析、深度剖面分析、成像分析、掺杂分布测定等。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试。

以上是关于二次离子质谱仪(SIMS)测试仪器-表面分析仪器的相关介绍,如有其他疑问可以咨询在线工程师为您服务。

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