二次离子质谱仪(SIMS)测试仪器-表面分析仪器

二次离子质谱仪(SIMS)

主要用途

二次离子质谱仪是用于表面和深度剖面分析的高端设备。广泛应用于材料科学、半导体等领域，能够进行高灵敏度的元素和分子分析。

参数指标

检测限：ppb-ppt级；分析深度：≤1μm；空间分辨率：≤50nm；质量分辨率：高分辨。

主要样品类型

适用于表面分析材料，包括：半导体、薄膜、金属、陶瓷等。

主要实验项目

表面元素分析、深度剖面分析、成像分析、掺杂分布测定等。