X射线光电子能谱仪(XPS)测试仪器-表面分析仪器

X射线光电子能谱仪(XPS)

主要用途

X射线光电子能谱仪是用于表面化学分析的高端设备。广泛应用于材料科学、催化研究、半导体等领域，能够提供材料表面的元素组成和化学态信息。

参数指标

分析深度：≤10nm；空间分辨率：≤10μm；能量分辨率：≤0.45eV；灵敏度：≥5Mcps；检测元素范围：Li-U；分析模式：点分析、线扫描、面分布。

主要样品类型

适用于固体材料表面分析，包括：金属材料、半导体、薄膜、催化剂、聚合物、陶瓷、纳米材料等。

主要实验项目

表面元素分析、化学态分析、深度剖析、表面污染检测、薄膜成分分析、催化剂表征、界面分析、吸附物种鉴定、氧化态分析等。