薄膜测厚仪

仪器简介：

提供了二维分析、三维分析、表面纹理分析、粗糙度分析、波度分析、PSD分析、体积、角度计算、曲率计算、模拟一维分析、数据输出、数据自动动态存储、自定义数据显示格式等。综合绘图软件可以采集、分析、处理和可视化数据。表面统计的计算包括峰值和谷值分析。基于傅立叶变换的空间过滤工具使得高通、低通、通频带和带阻能滤波器变的容易。多项式配置、数据配置、扫描、屏蔽和插值。交互缩放。X-Y和线段剖面。三维线路、混合和固定绘图。用于阶越高度测量的地区差异绘图。

膜厚仪主要特点：

◆微观二维(2D)和三维(3D)形貌轮廓获取

◆多种测量功能

将采样数据运算后,可获得准确定量的面积(空隙率，缺陷密度，磨损轮廓截面积等)、体积(孔深，点蚀，图案化表面，材料表面磨损体积以及球状和环状工件表面磨损体积等)、台阶高度、线与面粗糙度,透明膜厚、薄膜曲率半径以及其它几何参数等测量数据。

NanoMap-1000WLI

NanoMap-1000WLI膜厚仪是非接触式三维高清图像的光学轮廓仪白光干涉仪器 - 白光干涉带来了高的分辨率、 400万像素的图像、大的扫描范围，可定制的波长范范围，使用户可以轻松灵活的的到任何表面形貌。提供了二维分析、三维分析、表面纹理分析、粗糙度分析、波度分析、PSD分析、体积、角度计算、曲率计算、模拟一维分析、数据输出、数据自动动态存储、自定义数据显示格式等。综合绘图软件可以采集、分析、处理和可视化数据。表面统计的计算包括峰值和谷值分析。基于傅立叶变换的空间过滤工具使得高通、低通、通频带和带阻能滤波器变的容易。多项式配置、数据配置、扫描、屏蔽和插值。交互缩放。X-Y和线段剖面。三维线路、混合和固定绘图。用于阶越高度测量的地区差异绘图。

测量表面可以覆盖90%以上材料表面。设备传感器精度高，稳定性好，材料应用面广。热噪声是同类产品最低的。垂直分辨率可达0.01 nm ( phase-shift mode) 可测跨学科、跨领域的各种样品表面，包括透明、金属材料，半透明、高漫反射，低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…);

膜厚仪

参数性能追寻持续改进的目标

AEP的技术致力于日新月异的改善产品性能参数。 欲了解最新的配置和性能，请与我们联系。

搭载多镜头 最多可同时搭载6枚物镜

Z轴聚焦范围 0.1纳米至10mm

手动旋转平台范围 360度

高清图像

2维、3维的直方图等视图

白光干涉可以呈现2维和3维图像。利用所提供的软件，通过设置一些选项、可以得到客户需求的的曲线、标绘、视图(例如直方图及雷达图等)

成像光源

长寿命强光LED，用户可自选波长范围