晶圆级可靠性检测(WLR)

信息概要

晶圆级可靠性检测(WLR)是一种针对半导体晶圆在制造过程中的可靠性评估方法，通过对晶圆的关键参数和性能进行测试，确保其在实际应用中的稳定性和耐久性。

该检测服务由第三方检测机构提供，涵盖从材料特性到电性能的多维度分析，帮助客户提前发现潜在缺陷，优化生产工艺，降低产品失效风险。

晶圆级可靠性检测在半导体行业中至关重要，它不仅能够提升产品良率，还能延长器件寿命，满足高端电子设备对可靠性的严苛要求。

检测项目

• 电迁移测试
• 热载流子注入测试
• 时间依赖介电击穿测试
• 负偏置温度不稳定性测试
• 正偏置温度不稳定性测试
• 栅极氧化物完整性测试
• 接触电阻测试
• 互连线电阻测试
• 介电层厚度测试
• 表面粗糙度测试
• 晶格缺陷检测
• 掺杂浓度测试
• 漏电流测试
• 击穿电压测试
• 阈值电压漂移测试
• 应力迁移测试
• 热阻测试
• 机械应力测试
• 湿气敏感度测试
• 封装可靠性测试

检测范围

• 硅基晶圆
• 砷化镓晶圆
• 碳化硅晶圆
• 氮化镓晶圆
• SOI晶圆
• 化合物半导体晶圆
• 多晶硅晶圆
• 非晶硅晶圆
• 蓝宝石衬底晶圆
• 玻璃衬底晶圆
• 柔性晶圆
• 光电子器件晶圆
• MEMS晶圆
• 功率器件晶圆
• 射频器件晶圆
• 传感器晶圆
• 存储器晶圆
• 逻辑器件晶圆
• 模拟器件晶圆
• 混合信号器件晶圆

检测方法

• 电学测试法：通过施加电压或电流测量电性能参数
• 热循环测试法：模拟温度变化环境下的可靠性
• 高加速寿命测试法：在极端条件下快速评估产品寿命
• 扫描电子显微镜法：观察表面形貌和微观结构
• 透射电子显微镜法：分析晶体结构和缺陷
• 原子力显微镜法：测量表面粗糙度和力学性能
• X射线衍射法：确定晶体结构和应力分布
• 二次离子质谱法：分析材料成分和掺杂分布
• 傅里叶变换红外光谱法：检测材料化学键和污染
• 四探针法：测量薄层电阻和电阻率
• 霍尔效应测试法：确定载流子浓度和迁移率
• 电容-电压测试法：分析介电层特性和界面态
• 电流-电压测试法：评估器件电学特性
• 噪声测试法：检测器件中的缺陷和可靠性问题
• 热成像法：定位热点和热分布不均匀区域

检测仪器

• 半导体参数分析仪
• 探针台
• 扫描电子显微镜
• 透射电子显微镜
• 原子力显微镜
• X射线衍射仪
• 二次离子质谱仪
• 傅里叶变换红外光谱仪
• 四探针测试仪
• 霍尔效应测试系统
• 电容-电压测试仪
• 热循环测试箱
• 高加速寿命测试系统
• 热成像仪
• 噪声测试系统