光学干涉测试实验

信息概要

光学干涉测试是一种基于光波干涉原理的高精度测量技术，广泛应用于光学元件、半导体材料、精密机械部件等产品的表面形貌、厚度、折射率及平整度等参数的检测。第三方检测机构通过的光学干涉测试实验，为客户提供科学、准确的检测数据，确保产品质量满足行业标准与设计要求。此类检测对保障产品性能、优化生产工艺、避免潜在失效风险具有重要价值。

检测项目

• 表面粗糙度
• 平面度偏差
• 曲率半径
• 薄膜厚度均匀性
• 光学元件的波前畸变
• 镜面反射率
• 透射波前误差
• 光学平行度
• 材料折射率分布
• 微观划痕与缺陷检测
• 纳米级表面形貌分析
• 涂层附着力评估
• 热膨胀系数变化
• 环境振动对光学系统的影响
• 光学器件的偏振特性
• 多层层间对准精度
• 光学系统装调误差
• 材料应力分布检测
• 微结构三维轮廓重建
• 激光损伤阈值测试

检测范围

• 光学透镜
• 棱镜与分光元件
• 半导体晶圆
• 光学镀膜器件
• 光纤连接器端面
• 精密轴承表面
• 微机电系统（MEMS）
• 激光谐振腔镜
• 光学窗口片
• 光刻机掩膜版
• 航空航天反射镜
• 望远镜镜面
• 医用内窥镜镜头
• 摄像头模组镜片
• 投影仪光学组件
• 太阳能电池板涂层
• 光学滤波器
• 衍射光学元件
• 纳米压印模板
• 超精密加工模具

检测方法

• 激光干涉术：利用单色激光相干性测量表面形貌与相位信息
• 白光垂直扫描干涉术：通过宽带光源实现非接触式三维形貌测量
• 相移干涉术：多幅干涉图相位提取提升分辨率
• 数字全息干涉术：结合计算机重建技术实现动态检测
• 菲索干涉法：用于大口径光学元件面形检测
• 泰曼-格林干涉法：分析透射元件的波前质量
• 低相干干涉术：适用于多层结构的层析测量
• 偏振干涉术：检测光学各向异性材料的特性
• 共光路干涉术：降低环境振动对测量的影响
• 动态干涉术：实时监测表面变化过程
• 散斑干涉术：应用于粗糙表面位移与应变分析
• 波长扫描干涉术：扩展纵向测量范围
• 横向剪切干涉术：简化光学系统配置
• 点衍射干涉术：实现无参考镜的高精度测量
• 多波长干涉术：解决相位模糊问题

检测仪器

• 斐索干涉仪
• 迈克尔逊干涉仪
• 泰曼-格林干涉仪
• 激光共聚焦显微镜
• 白光干涉轮廓仪
• 相移干涉测量系统
• 数字全息显微镜
• 动态干涉仪
• 纳米压痕仪
• 椭偏仪
• 光学轮廓仪
• 激光波长计
• 高精度位移台
• 环境振动隔离平台
• 多轴运动控制器