光学面形测量测试实验

信息概要

光学面形测量测试实验是用于评估光学元件表面形状精度与质量的关键技术，广泛应用于透镜、反射镜、棱镜等光学器件的制造与研发领域。通过高精度检测，可确保光学元件的光学性能、成像质量及系统兼容性，对航空航天、激光技术、医疗成像等高精尖行业至关重要。第三方检测机构通过设备与方法，为客户提供标准化、可追溯的检测服务，助力产品优化与质量控制。

检测项目

• 面形误差（Surface Form Error）
• 曲率半径一致性
• 表面粗糙度（Ra/Rz）
• 波前像差（Wavefront Aberration）
• 峰谷值（PV值）
• 均方根误差（RMS）
• 局部斜率偏差
• 非球面参数偏离度
• 透射波前畸变
• 反射面形均匀性
• 光学元件厚度偏差
• 面形重复性精度
• 边缘塌边效应
• 热变形系数
• 表面缺陷（划痕、麻点）
• 涂层均匀性
• 曲率中心偏移量
• 自由曲面面形吻合度
• 光学元件装调偏心
• 动态形变响应

检测范围

• 球面透镜
• 非球面透镜
• 平面反射镜
• 凹面/凸面反射镜
• 光学棱镜
• 衍射光学元件
• 红外光学窗口
• 紫外滤光片
• 激光晶体端面
• 微透镜阵列
• 自由曲面光学元件
• 光学镀膜元件
• 光纤连接器端面
• 望远镜主镜
• 相机镜头模组
• 投影光路组件
• 医用内窥镜镜片
• 光刻机光学模块
• 航天遥感镜头
• 激光谐振腔镜

检测方法

• 干涉测量法（基于菲索或泰曼-格林原理）
• 白光干涉轮廓术
• 激光扫描共聚焦显微术
• 相位测量偏折术（PMD）
• 哈特曼波前传感技术
• 数字全息干涉法
• 莫尔条纹分析法
• 接触式轮廓仪扫描
• 非接触式光学轮廓术
• 光学传递函数（MTF）测试
• 激光散斑对比检测
• 电子散斑干涉（ESPI）
• 原子力显微镜（AFM）表面分析
• 激光跟踪仪多点采样
• 热成像形变监测

检测方法

• 激光干涉仪
• 白光干涉仪
• 三维光学轮廓仪
• 哈特曼传感器
• 共聚焦显微镜
• 原子力显微镜
• 数字全息成像系统
• 激光跟踪仪
• 接触式轮廓仪
• 分光光度计
• 光学平台振动隔离系统
• 高精度转台
• 环境温湿度控制箱
• 激光散斑分析仪
• 热成像相机