光学面形仪测试实验

信息概要

光学面形仪测试实验是一种用于精密光学元件表面形貌和几何参数检测的关键技术。该检测服务通过高精度测量设备对光学产品的面形误差、曲率半径、粗糙度等核心参数进行量化分析，确保产品符合设计规范和行业标准。检测的重要性在于保障光学系统的成像质量、提升产品良率、降低装配误差，并满足航空航天、激光通信、半导体制造等高精尖领域对光学元件的严苛要求。

检测项目

• 面形误差
• 曲率半径
• 表面粗糙度
• 局部斜率偏差
• 峰值和谷值高度
• 面形均方根值
• 面形峰谷值
• 表面波纹度
• 非球面系数
• 光轴对准精度
• 表面缺陷密度
• 反射率均匀性
• 透射波前误差
• 焦距偏差
• 离轴角精度
• 边缘塌边量
• 中心厚度偏差
• 面形对称性
• 热变形稳定性
• 环境适应性参数

检测范围

• 球面光学镜片
• 非球面镜片
• 平面光学窗口
• 棱镜组件
• 衍射光学元件
• 激光反射镜
• 红外光学元件
• 紫外光学滤光片
• 自由曲面镜
• 微透镜阵列
• 光纤耦合器端面
• 光刻机物镜组
• 航天相机镜片
• 医用内窥镜镜片
• 激光陀螺反射镜
• 投影光引擎组件
• 天文望远镜镜面
• 光学镀膜基底
• 精密模具成型面
• 纳米压印模板

检测方法

• 干涉测量法：通过光波干涉条纹分析表面形貌
• 激光扫描法：利用聚焦激光束逐点扫描表面轮廓
• 白光干涉术：测量纳米级表面粗糙度和微观结构
• 相位偏移法：捕获多幅干涉图计算三维形貌
• 共聚焦显微术：实现亚微米级分辨率的三维成像
• 莫尔条纹法：基于光栅投影分析面形畸变
• 数字全息术：通过数字重建获取全场形变数据
• 结构光投影法：使用编码光栅快速测量宏观面形
• 激光跟踪法：多站位测量大型光学元件面形
• 斐索干涉法：绝对测量球面元件曲率半径
• 哈特曼波前检测：分析光学系统的波前畸变
• 散射测量法：通过散射光分布评估表面质量
• 原子力显微术：纳米级表面形貌表征
• 轮廓仪触针法：接触式测量表面粗糙度
• 热成像分析法：评估温度变化对面形的影响

检测仪器

• 激光干涉仪
• 白光干涉仪
• 相位测量干涉仪
• 三维轮廓仪
• 共聚焦显微镜
• 数字全息显微镜
• 激光跟踪仪
• 斐索干涉仪
• 哈特曼传感器
• 原子力显微镜
• 光学轮廓仪
• 结构光投影系统
• 莫尔偏折仪
• 高精度旋转台
• 环境模拟测试舱