光学干涉仪测量测试实验

信息概要

光学干涉仪测量测试实验是一种基于光学干涉原理的高精度检测技术，广泛应用于光学元件、精密机械、半导体器件等领域的质量评估与性能验证。该检测服务通过分析干涉条纹的变化，实现对材料表面形貌、几何参数、光学性能等关键指标的精准测量。检测的重要性在于确保产品符合设计标准，提升制造工艺的可靠性，避免因微小缺陷导致的功能失效，尤其在航空航天、医疗设备、光电子等高精尖行业中具有不可替代的作用。

检测项目

• 波长精度
• 表面粗糙度
• 平面度误差
• 曲率半径
• 光学均匀性
• 折射率分布
• 膜层厚度均匀性
• 角度偏差
• 波前畸变
• 透射率与反射率
• 光程差稳定性
• 偏振特性
• 温度漂移系数
• 振动敏感性
• 光学元件面形精度
• 同轴度误差
• 非线性误差
• 系统分辨率
• 环境适应性
• 长期稳定性

检测范围

• 平面镜
• 球面镜
• 非球面镜
• 棱镜
• 光栅
• 透镜组
• 光纤器件
• 激光谐振腔
• 光学镀膜元件
• 微机电系统（MEMS）
• 半导体晶圆
• 精密导轨
• 光学窗口
• 分光器件
• 干涉滤光片
• 偏振器件
• 光学传感器
• 光学仪器装配体
• 纳米级结构器件
• 超光滑表面元件

检测方法

• 迈克尔逊干涉法：通过分光与合光分析相位差
• 菲索干涉法：用于平面或球面元件的面形检测
• 泰曼-格林干涉法：测量光学系统波前误差
• 白光干涉术：适用于非连续表面形貌分析
• 相移干涉法：通过相位调制提升测量精度
• 共光路干涉法：减少环境振动干扰
• 激光多普勒干涉法：动态位移与速度测量
• 数字全息干涉法：三维形貌快速重建
• 低相干干涉法：用于薄膜厚度检测
• 偏振干涉法：分析光学元件偏振特性
• 光纤干涉法：适用于微小型器件检测
• 同步移相干涉法：实时动态测量
• 波长扫描干涉法：高精度绝对距离测量
• 剪切干涉法：检测波前梯度分布
• 点衍射干涉法：无参考面高精度检测

检测仪器

• 激光干涉仪
• 菲索干涉仪
• 迈克尔逊干涉仪
• 白光干涉仪
• 相移干涉仪
• 数字全息显微镜
• 光纤干涉测量系统
• 泰曼-格林干涉仪
• 波长调谐干涉仪
• 纳米表面轮廓仪
• 偏振敏感干涉仪
• 低相干扫描干涉仪
• 动态干涉仪
• 多波长干涉仪
• 剪切干涉测量装置

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