激光干涉虚像面形检测

信息概要

激光干涉虚像面形检测是一种高精度的光学检测技术，主要用于评估光学元件或系统的面形误差、波前畸变等关键参数。该技术通过激光干涉仪生成虚像，结合精密算法分析面形偏差，广泛应用于光学制造、航空航天、精密仪器等领域。

检测的重要性在于确保光学元件的性能和质量，避免因面形误差导致的光学系统成像失真、能量损失等问题。通过第三方检测机构的服务，客户可以获得客观、准确的检测数据，为产品研发、生产质量控制提供可靠依据。

检测项目

• 面形误差（PV值）
• 面形误差（RMS值）
• 波前畸变
• 曲率半径偏差
• 局部斜率误差
• 表面粗糙度
• 光学系统像差
• 焦距偏差
• 非球面度
• 光学元件厚度均匀性
• 光学元件偏心误差
• 光学元件倾斜误差
• 光学系统调制传递函数（MTF）
• 光学系统斯特列尔比
• 光学系统波前像差（Zernike系数）
• 光学元件表面缺陷（划痕、麻点）
• 光学元件镀膜均匀性
• 光学元件材料均匀性
• 光学元件热变形系数
• 光学元件环境稳定性

检测范围

• 平面镜
• 球面镜
• 非球面镜
• 柱面镜
• 棱镜
• 透镜
• 反射镜
• 分光镜
• 滤光片
• 窗口片
• 激光晶体
• 光学镀膜元件
• 光纤耦合器
• 光学系统装配件
• 望远镜镜片
• 显微镜物镜
• 相机镜头
• 投影仪镜头
• 红外光学元件
• 紫外光学元件

检测方法

• 激光干涉法：利用激光干涉仪测量光学元件的面形误差和波前畸变。
• 相位测量干涉法：通过相位分析技术准确计算面形偏差。
• 菲索干涉法：适用于平面或球面光学元件的面形检测。
• 泰曼-格林干涉法：用于测量光学元件的波前像差。
• 剪切干涉法：通过剪切波前分析光学系统的像差。
• 白光干涉法：用于测量表面粗糙度和微观形貌。
• 数字全息法：通过全息技术重建波前信息。
• 哈特曼波前传感法：利用微透镜阵列测量波前斜率。
• 点衍射干涉法：适用于高精度波前测量。
• 共光路干涉法：减少环境振动对测量的影响。
• 动态干涉法：用于测量振动环境下的光学元件面形。
• 多波长干涉法：解决相位模糊问题，提高测量精度。
• 偏振干涉法：用于测量偏振敏感光学元件的面形。
• 低相干干涉法：适用于厚光学元件的面形检测。
• 计算机生成全息法：用于非球面光学元件的面形检测。

检测仪器

• 激光干涉仪
• 菲索干涉仪
• 泰曼-格林干涉仪
• 剪切干涉仪
• 白光干涉仪
• 数字全息显微镜
• 哈特曼波前传感器
• 点衍射干涉仪
• 动态干涉仪
• 多波长干涉仪
• 偏振干涉仪
• 低相干干涉仪
• 计算机生成全息检测系统
• 光学轮廓仪
• 表面粗糙度测量仪