氦质谱（微泄漏）

信息概要

氦质谱（微泄漏）检测是一种高精度的泄漏检测技术，广泛应用于航空航天、半导体、医疗设备、汽车制造等领域。该技术通过氦气作为示踪气体，利用质谱仪检测微小的泄漏信号，灵敏度可达10^-12 mbar·L/s级别。检测的重要性在于确保产品的密封性能，防止因微小泄漏导致的功能失效或安全隐患，尤其在高压、真空或高纯度环境中至关重要。

检测项目

• 泄漏率检测：测量产品在特定条件下的气体泄漏速率。
• 密封性测试：验证产品整体密封性能是否符合标准。
• 氦气残留检测：检测产品内部氦气残留量是否超标。
• 真空保持能力：评估产品在真空环境下的密封稳定性。
• 压力衰减测试：通过压力变化判断泄漏情况。
• 氦气渗透率：测量材料对氦气的渗透性能。
• 微小泄漏定位：准确识别泄漏点的具体位置。
• 重复性测试：验证多次检测结果的一致性。
• 环境适应性：检测不同温度、湿度下的泄漏表现。
• 长期稳定性：评估产品在长期使用中的密封性能。
• 材料兼容性：测试材料与氦气的化学兼容性。
• 接口密封性：检查产品接口部位的泄漏情况。
• 焊缝完整性：验证焊接部位的密封性能。
• 封装质量：评估封装工艺对密封性的影响。
• 动态泄漏测试：模拟动态工况下的泄漏表现。
• 静态泄漏测试：在静态条件下检测泄漏。
• 氦气回收率：检测氦气回收效率是否符合要求。
• 系统背景噪声：评估检测系统的背景噪声水平。
• 灵敏度校准：验证检测设备的灵敏度是否达标。
• 泄漏阈值设定：根据标准设定泄漏判定阈值。
• 多泄漏点检测：识别并评估多个泄漏点的情况。
• 泄漏速率分布：分析泄漏速率的分布特征。
• 氦气浓度分布：检测产品内部氦气浓度的分布。
• 泄漏方向性：判断泄漏的方向性特征。
• 泄漏时间特性：分析泄漏随时间的变化规律。
• 泄漏面积估算：估算泄漏点的面积大小。
• 泄漏形状分析：分析泄漏点的几何形状。
• 泄漏深度检测：评估泄漏点的深度信息。
• 泄漏温度影响：研究温度对泄漏速率的影响。
• 泄漏压力影响：研究压力对泄漏速率的影响。

检测范围

• 航空航天部件
• 半导体封装
• 医疗设备
• 汽车零部件
• 真空设备
• 制冷系统
• 电力设备
• 化工容器
• 电子元器件
• 光学器件
• 电池系统
• 管道系统
• 阀门
• 泵体
• 密封件
• 压力容器
• 气体储存罐
• 燃料电池
• 核工业设备
• 实验室设备
• 食品包装
• 药品包装
• 军用设备
• 通信设备
• 传感器
• 液压系统
• 气动系统
• 电缆接头
• 连接器
• 封装材料

检测方法

• 氦质谱检漏法：利用质谱仪检测氦气泄漏信号。
• 真空法：在真空环境下进行泄漏检测。
• 充压法：通过充入氦气进行泄漏检测。
• 嗅探法：使用探头检测泄漏的氦气。
• 累积法：通过累积氦气浓度判断泄漏。
• 压力变化法：监测压力变化判断泄漏。
• 流量法：测量泄漏气体的流量。
• 示踪气体法：使用其他示踪气体辅助检测。
• 动态检测法：在动态工况下进行检测。
• 静态检测法：在静态条件下进行检测。
• 局部检测法：对特定部位进行重点检测。
• 整体检测法：对产品整体进行泄漏检测。
• 定量检测法：准确测量泄漏速率。
• 定性检测法：判断是否存在泄漏。
• 多点检测法：同时检测多个潜在泄漏点。
• 温度循环法：通过温度变化检测泄漏。
• 压力循环法：通过压力变化检测泄漏。
• 氦气回收法：回收氦气进行重复检测。
• 背景扣除法：扣除系统背景噪声提高精度。
• 校准法：使用标准泄漏源校准设备。
• 对比法：与标准样品进行对比检测。
• 统计分析：对检测数据进行统计分析。
• 图像分析法：通过图像分析泄漏点。
• 声学法：通过声学信号判断泄漏。
• 热学法：通过热学信号判断泄漏。

检测仪器

• 氦质谱检漏仪
• 真空泵
• 压力计
• 流量计
• 氦气瓶
• 示踪气体发生器
• 嗅探探头
• 数据采集系统
• 校准泄漏源
• 温度控制器
• 湿度控制器
• 压力控制器
• 气体分析仪
• 真空室
• 泄漏定位仪