表面形貌观察

信息概要

• 表面形貌观察是通过各种仪器对材料表面微观结构进行定量和定性分析的技术，广泛应用于制造业、半导体和生物医学等领域。
• 该检测对于评估产品质量、控制制造过程、预测产品寿命和确保安全性至关重要，能有效减少缺陷和提高性能。
• 检测信息概括了表面粗糙度、纹理、缺陷等参数，为研发和质量控制提供可靠数据支持。

检测项目

• 算术平均粗糙度 (Ra)
• 均方根粗糙度 (Rq)
• 最大峰谷高度 (Rt)
• 十点高度 (Rz)
• 轮廓偏斜度 (Rsk)
• 轮廓峰度 (Rku)
• 平均波长 (λa)
• 轮廓支承长度率 (Rmr)
• 轮廓峰密度 (Rpc)
• 最大峰高 (Rp)
• 最大谷深 (Rv)
• 轮廓总高度 (Rtotal)
• 轮廓算术平均斜率 (RΔa)
• 轮廓均方根斜率 (RΔq)
• 轮廓长度比 (Rlr)
• 表面算术平均高度 (Sa)
• 表面均方根高度 (Sq)
• 表面最大高度 (Sz)
• 表面偏斜度 (Ssk)
• 表面峰度 (Sku)
• 表面最大峰高 (Sp)
• 表面最大谷深 (Sv)
• 十点高度面 (S10z)
• 表面面积比 (Sdr)
• 峰密度 (Sds)
• 平均峰曲率 (Ssc)
• 均方根斜率 (Sdq)
• 支承指数 (Sbi)
• 核心流体滞留指数 (Sci)
• 谷流体滞留指数 (Svi)

检测范围

• 金属切削工具
• 轴承滚道
• 齿轮齿面
• 液压缸内壁
• 活塞环
• 密封面
• 光学透镜
• 半导体晶圆
• 薄膜涂层
• 塑料注塑件
• 橡胶密封圈
• 陶瓷部件
• 复合材料表面
• 生物医学植入物
• 电子元件引脚
• 印刷电路板焊盘
• 汽车发动机缸体
• 飞机涡轮叶片
• 船舶螺旋桨
• 建筑玻璃
• 纺织品纤维
• 纸张表面
• 食品包装材料
• 药品片剂
• 化妆品粉末
• 磁性记录介质
• 太阳能电池板
• 风力发电机叶片
• 3D打印零件
• 纳米材料

检测方法

• 触针式轮廓法：使用机械触针接触表面扫描测量轮廓高度。
• 光学干涉法：利用光波干涉原理测量表面形貌分布。
• 共聚焦显微镜法：通过共聚焦光学系统获取三维表面数据。
• 原子力显微镜法：使用微探针检测表面原子力变化成像。
• 扫描电子显微镜法：用电子束扫描表面获取高分辨率形貌图像。
• 白光干涉法：基于白光光源的干涉效应测量表面高度。
• 相位偏移干涉法：通过相位变化分析表面轮廓。
• 焦点变化法：利用焦点深度差异测量表面起伏。
• 结构光投影法：投影光栅图案到表面并分析形变。
• 激光扫描共聚焦显微镜法：结合激光扫描和共聚焦技术进行三维测量。
• 数字全息法：使用全息记录和重建波前获取形貌。
• 散斑干涉法：分析激光散斑图案测量表面形变。
• 光切法：用光线切割表面观察轮廓线。
• 触觉式三维扫描法：通过接触式探头进行三维表面扫描。
• 非接触式三维扫描法：如激光三角测量法避免接触损伤。
• 超声波法：利用超声波反射时间测量表面距离。
• 电容法：通过电容变化检测表面与探头间隙。
• 电感法：适用于导电表面的电磁感应测量。
• 气动法：使用空气流量变化测量表面间隙。
• 显微镜比较法：与标准样板对比评估表面质量。

检测仪器

• 表面轮廓仪
• 白光干涉仪
• 原子力显微镜
• 扫描电子显微镜
• 共聚焦激光扫描显微镜
• 光学轮廓仪
• 三维形貌测量系统
• 触针式粗糙度仪
• 非接触式三维扫描仪
• 激光共聚焦显微镜
• 数字全息显微镜
• 结构光投影系统
• 焦点变化显微镜
• 相位偏移干涉仪
• 超声波测厚仪