晶体管级漏电流分布测试

信息概要

• 晶体管级漏电流分布测试是第三方检测机构提供的服务，专注于对半导体器件中单个晶体管的漏电流进行准确测量和统计分析，以评估其功耗性能、可靠性和制造质量。
• 检测的重要性在于漏电流是影响芯片静态功耗的关键参数，尤其对于低功耗集成电路，通过测试可以早期识别工艺缺陷、优化设计并提高产品良率，确保符合行业标准。
• 本服务概括了从测试方案设计、样品处理到数据报告的全流程，支持多种先进工艺节点，帮助客户实现的质量控制。

检测项目

• 关态漏电流测试
• 开态电流测试
• 亚阈值漏电流测试
• 栅极漏电流测试
• 衬底漏电流测试
• 源漏漏电流测试
• 阈值电压测试
• 亚阈值摆幅测试
• 漏致势垒降低测试
• 栅致漏极漏电流测试
• 击穿电压测试
• 泄漏功率测试
• 静态功耗测试
• 动态功耗测试
• 温度依赖漏电流测试
• 电压依赖漏电流测试
• 工艺角漏电流测试
• 统计分布均值测试
• 统计分布标准差测试
• 分布偏度测试
• 分布峰度测试
• 最小漏电流测试
• 最大漏电流测试
• 典型漏电流测试
• 最坏情况漏电流测试
• 随机关漏电流测试
• 系统漏电流测试
• 栅氧漏电流测试
• 结漏电流测试
• 通道漏电流测试

检测范围

• NMOS晶体管
• PMOS晶体管
• CMOS晶体管对
• FinFET晶体管
• 纳米线晶体管
• 环栅晶体管
• BJT NPN晶体管
• BJT PNP晶体管
• JFET N沟道晶体管
• JFET P沟道晶体管
• IGBT
• MOSFET增强型
• MOSFET耗尽型
• 高电子迁移率晶体管
• 异质结双极晶体管
• 隧道晶体管
• 负电容晶体管
• 有机晶体管
• 薄膜晶体管
• 功率MOSFET
• 射频MOSFET
• 存储器晶体管
• 逻辑晶体管
• 模拟晶体管
• 高压晶体管
• 低压晶体管
• 小尺寸晶体管
• 大尺寸晶体管
• 多指晶体管
• 单指晶体管

检测方法

• 直流参数测试：使用源测量单元测量晶体管的直流电流-电压特性，评估基本漏电流参数。
• 脉冲IV测试：应用短脉冲电压避免自热效应，准确捕捉瞬态漏电流行为。
• 电容-电压测试：通过CV曲线分析栅氧电容和漏电流成分，判断绝缘层质量。
• 温度依赖测试：在温控环境下测量漏电流随温度变化，提取热稳定性参数。
• 电压扫描测试：扫描栅极或漏极电压，记录漏电流响应曲线，分析电压敏感性。
• 统计采样测试：对大量晶体管样品进行漏电流测量，进行分布拟合和统计分析。
• 可靠性测试：如时间依赖介电击穿测试，评估长期操作下的漏电流稳定性。
• 噪声测试：测量漏电流的噪声频谱，识别随机电报噪声等缺陷指标。
• 频率响应测试：评估高频交流信号下的漏电流行为，用于射频应用验证。
• 工艺角测试：在fast、slow等工艺角条件下测量漏电流，检查设计鲁棒性。
• 建模提取：从测试数据提取SPICE模型参数，用于电路仿真和优化。
• 缺陷检测：通过漏电流异常值识别制造过程中的颗粒缺陷或界面问题。
• 应力测试：施加电应力后测量漏电流退化，评估器件耐久性。
• 休眠电流测试：测量器件在低功耗或休眠模式下的漏电流，优化能耗设计。
• 激活能量测试：从Arrhenius图提取漏电流的激活能量，分析失效机制。
• 分布拟合测试：将漏电流分布拟合到正态分布或韦伯分布模型，进行可靠性预测。
• 相关性分析：分析漏电流与阈值电压、尺寸等参数的相关性，指导工艺调整。
• 模式识别：应用机器学习算法分类漏电流模式，实现自动缺陷诊断。
• 实时监控：在器件操作过程中连续监测漏电流，用于在线质量控制。
• 加速寿命测试：通过高温高电压加速应力，预测漏电流随时间的变化趋势。

检测仪器

• 半导体参数分析仪
• 探针台
• 温控箱
• 示波器
• 信号发生器
• 频谱分析仪
• 网络分析仪
• 电容计
• 电压表
• 电流表
• 源测量单元
• 参数分析系统
• 显微镜
• 探针卡
• 数据采集系统