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中析检测

半导体晶圆擦拭剂正己烷测试

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咨询量:  
更新时间:2025-06-21  /
咨询工程师

信息概要

半导体晶圆擦拭剂正己烷测试是针对半导体制造过程中使用的擦拭剂中正己烷含量及相关性能的检测服务。正己烷作为一种常见的有机溶剂,其纯度和残留量对半导体晶圆的生产质量至关重要。通过的第三方检测,可以确保擦拭剂符合行业标准,避免因溶剂残留导致的晶圆污染或性能下降。此类检测不仅关乎产品良率,也是半导体制造工艺中不可或缺的质量控制环节。

检测项目

  • 正己烷含量
  • 水分含量
  • 酸度
  • 碱度
  • 蒸发残留物
  • 重金属含量
  • 氯离子含量
  • 硫酸盐含量
  • 颗粒物数量
  • 挥发性有机物总量
  • 闪点
  • 密度
  • 粘度
  • 表面张力
  • 折射率
  • 沸点
  • 熔点
  • 电导率
  • pH值
  • 氧化稳定性

检测范围

  • 半导体晶圆无尘擦拭剂
  • 高纯度正己烷溶剂
  • 电子级正己烷
  • 工业级正己烷
  • 超净间专用擦拭剂
  • 光刻胶去除擦拭剂
  • 晶圆表面清洁剂
  • 半导体设备维护擦拭剂
  • 无尘室耗材
  • 精密仪器清洁剂
  • 半导体封装擦拭剂
  • 硅片加工辅助剂
  • 蚀刻后处理擦拭剂
  • 晶圆抛光后清洁剂
  • 半导体制造过程用溶剂
  • 微电子行业专用清洁剂
  • 半导体级有机溶剂
  • 晶圆载具清洁剂
  • 半导体设备零件清洁剂
  • 芯片制造辅助材料

检测方法

  • 气相色谱法:用于测定正己烷含量及挥发性有机物
  • 卡尔费休法:准确测量微量水分
  • 原子吸收光谱法:检测重金属元素含量
  • 离子色谱法:分析阴离子如氯离子和硫酸盐
  • 激光粒度分析法:测定颗粒物数量和分布
  • 比重瓶法:测定液体密度
  • 旋转粘度计法:测量流体粘度
  • 悬滴法:测定液体表面张力
  • 阿贝折射仪法:测量折射率
  • 闭杯闪点测试仪法:确定闪点
  • 电位滴定法:测定酸度和碱度
  • 电导率仪法:测量溶液电导率
  • pH计法:测定pH值
  • 重量法:测定蒸发残留物
  • 氧化稳定性测试法:评估抗氧化性能

检测仪器

  • 气相色谱仪
  • 卡尔费休水分测定仪
  • 原子吸收光谱仪
  • 离子色谱仪
  • 激光粒度分析仪
  • 电子天平
  • 比重瓶
  • 旋转粘度计
  • 表面张力仪
  • 阿贝折射仪
  • 闪点测试仪
  • 电位滴定仪
  • 电导率仪
  • pH计
  • 恒温干燥箱

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