半导体气体输送系统耐压泄露检测

信息概要

• 半导体气体输送系统是半导体制造过程中用于输送高纯度气体的关键组件，确保气体纯度和系统安全对产品质量至关重要。
• 耐压泄露检测是评估系统完整性的核心测试，能有效预防气体泄漏导致的安全事故、环境污染和生产损失。
• 第三方检测机构提供标准化检测服务，通过设备和方法确保系统符合国际标准，如SEMI和ISO规范，提升客户信任度。

检测项目

• 耐压强度测试
• 泄漏率检测
• 气密性测试
• 压力衰减测试
• 气泡测试
• 氦质谱检漏
• 真空测试
• 流量测试
• 压力循环测试
• 温度循环测试
• 振动测试
• 冲击测试
• 腐蚀测试
• 材料兼容性测试
• 表面光洁度测试
• 颗粒物检测
• 水分含量测试
• 氧气含量测试
• 纯度测试
• 颗粒计数
• 压力保持测试
• 泄漏定位测试
• 密封性能测试
• 阀门操作测试
• 接头强度测试
• 管道弯曲测试
• 焊接完整性测试
• 法兰连接测试
• 软管耐压测试
• 系统整体气密性测试

检测范围

• 气体管道系统
• 气体阀门
• 气体接头
• 气体过滤器
• 减压阀
• 压力调节器
• 流量控制器
• 气体混合器
• 气体净化器
• 气体检测器
• 软管组件
• 钢管组件
• 不锈钢管道
• 铜管
• 特氟龙管
• 卡套管
• 法兰
• 弯头
• 三通
• 异径管
• 阀门执行器
• 电磁阀
• 球阀
• 针阀
• 隔膜阀
• 安全阀
• 止回阀
• 压力表
• 流量计
• 泄漏传感器

检测方法

• 压力衰减法 - 通过监测系统压力变化来检测泄漏率。
• 气泡测试法 - 将系统浸入液体中，观察气泡形成以定位泄漏。
• 氦质谱检漏法 - 使用氦气作为示踪气体，通过质谱仪检测微小泄漏。
• 真空测试法 - 在真空环境下测量压力上升，评估泄漏情况。
• 流量测试法 - 测量气体流量偏差来判断系统泄漏。
• 压力循环测试法 - 反复加压和减压，检验系统疲劳耐受性。
• 温度循环测试法 - 在不同温度条件下测试系统密封性能。
• 振动测试法 - 模拟运行振动环境，检测泄漏点。
• 声学检测法 - 利用超声波设备捕捉泄漏产生的声音信号。
• 红外热像法 - 使用红外相机检测温度异常，定位泄漏。
• 质谱分析法 - 分析气体成分变化，识别泄漏源。
• 压力保持测试法 - 保持恒定压力，观察压力稳定性。
• 泄漏定位法 - 使用探头或传感器准确查找泄漏位置。
• 密封剂测试法 - 评估密封材料的耐久性和有效性。
• 气密性测试法 - 对整个系统进行整体密封性能验证。
• 强度测试法 - 施加高压检验系统结构强度。
• 耐久性测试法 - 长期运行测试系统可靠性和泄漏风险。
• 环境测试法 - 在不同湿度、温度环境下进行泄漏检测。
• 清洁度测试法 - 检测系统内部污染物，防止泄漏诱因。
• 颗粒物测试法 - 测量颗粒浓度，评估系统洁净度。

检测仪器

• 压力表
• 压力传感器
• 流量计
• 泄漏检测仪
• 氦质谱检漏仪
• 真空计
• 温度传感器
• 振动测试仪
• 超声波检测仪
• 红外热像仪
• 质谱仪
• 气泡测试装置
• 压力校准器
• 数据采集系统
• 气密性测试台