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GB/T 34893-2017微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法

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中国标准分类号(CCS)
L55
国际标准分类号(ICS)
31.200
发布日期
2017-11-01
实施日期
2018-05-01
主管部门
国家标准化管理委员会
归口单位
微机电技术标准化技术委员会
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注
 

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