氦质谱（微泄漏）

信息概要

氦质谱（微泄漏）检测是一种高精度的泄漏检测技术，广泛应用于航空航天、半导体、医疗设备、汽车制造等领域。该技术通过氦气作为示踪气体，利用质谱仪检测微小的泄漏信号，灵敏度可达10^-12 Pa·m³/s级别。检测的重要性在于确保产品的密封性能，防止因微小泄漏导致的功能失效、安全隐患或环境污染，尤其在高压、真空或高纯度气体系统中至关重要。

检测项目

• 泄漏率测定
• 密封性能评估
• 氦气背景浓度检测
• 泄漏点定位
• 系统整体密封性测试
• 微小泄漏信号分析
• 泄漏速率稳定性测试
• 环境干扰因素分析
• 示踪气体扩散性能测试
• 真空系统泄漏检测
• 高压系统泄漏检测
• 低温系统泄漏检测
• 多泄漏点同时检测
• 泄漏信号响应时间测试
• 泄漏检测重复性验证
• 泄漏检测灵敏度校准
• 泄漏检测极限测试
• 泄漏检测系统稳定性评估
• 泄漏检测数据可靠性分析
• 泄漏检测报告生成

检测范围

• 航空航天部件
• 半导体封装
• 医疗设备密封件
• 汽车燃油系统
• 制冷系统
• 真空设备
• 高压气瓶
• 核工业设备
• 电力设备
• 化工管道
• 电子元器件
• 光学器件
• 食品包装
• 药品包装
• 科研仪器
• 军工产品
• 新能源电池
• 气体传感器
• 液压系统
• 气动元件

检测方法

• 氦质谱吸枪法：通过吸枪采集泄漏的氦气信号
• 真空箱法：将样品置于真空箱中充氦检测
• 累积法：通过累积泄漏气体提高检测灵敏度
• 压力变化法：监测系统压力变化判断泄漏
• 示踪气体法：使用氦气作为示踪气体检测泄漏
• 真空法：在真空条件下检测泄漏信号
• 正压法：在正压条件下检测泄漏信号
• 动态流量法：通过流量变化判断泄漏
• 静态压力法：通过压力稳定性判断泄漏
• 质谱分析法：利用质谱仪分析泄漏气体成分
• 嗅探法：手动扫描检测泄漏点
• 自动化扫描法：使用自动化设备扫描检测
• 多点同步检测法：同时检测多个潜在泄漏点
• 定量分析法：对泄漏量进行定量分析
• 定性分析法：判断泄漏是否存在

检测仪器

• 氦质谱检漏仪
• 真空泵系统
• 氦气回收装置
• 压力传感器
• 流量计
• 温度传感器
• 数据采集系统
• 自动化扫描平台
• 示踪气体注入装置
• 真空箱
• 压力控制器
• 气体分析仪
• 环境监测设备
• 校准漏孔
• 泄漏检测软件