电子特气输送系统微粒监控

信息概要

电子特气输送系统微粒监控是半导体、光伏、平板显示等高科技产业中不可或缺的关键环节，主要用于检测气体输送过程中微粒污染物的浓度和分布。此类检测服务由第三方检测机构提供，确保电子特气的纯净度符合行业标准，保障生产工艺的稳定性和产品的良率。检测的重要性在于，微粒污染可能导致芯片缺陷、设备故障或产品性能下降，因此严格的监控是保证生产质量的核心措施。

第三方检测机构通过设备和标准化流程，对电子特气输送系统进行全方位检测，确保气体纯度、微粒浓度等参数达标。检测服务涵盖气体种类、输送管道、阀门、过滤器等多个环节，为客户提供可靠的数据支持和解决方案。

检测项目

• 微粒浓度
• 气体纯度
• 氧气含量
• 水分含量
• 总烃含量
• 金属离子浓度
• 颗粒尺寸分布
• 氮氧化物含量
• 硫化物含量
• 二氧化碳含量
• 氢气含量
• 氦气含量
• 氩气含量
• 氯气含量
• 氟化物含量
• 氨气含量
• 一氧化碳含量
• 挥发性有机物含量
• 颗粒物沉降率
• 气体流速

检测范围

• 高纯氮气
• 高纯氧气
• 高纯氩气
• 高纯氢气
• 高纯氦气
• 高纯二氧化碳
• 高纯氨气
• 高纯氯气
• 高纯氟气
• 高纯硅烷
• 高纯磷烷
• 高纯砷烷
• 高纯硼烷
• 高纯硫化氢
• 高纯硒化氢
• 高纯六氟化钨
• 高纯四氟化碳
• 高纯三氟化氮
• 高纯六氟乙烷
• 高纯八氟环丁烷

检测方法

• 激光散射法：通过激光照射微粒并测量散射光强度分析浓度
• 气相色谱法：分离并测定气体中各组分含量
• 质谱分析法：通过质荷比鉴定气体成分
• 傅里叶变换红外光谱法：检测气体中的分子振动特征
• 电化学传感器法：利用电化学反应测量特定气体浓度
• 冷凝核计数器法：通过冷凝液滴计数微粒数量
• 重量分析法：通过滤膜称重测定颗粒物质量
• 离子色谱法：测定气体中可溶性离子含量
• 原子吸收光谱法：检测金属元素含量
• 紫外荧光法：测定硫化物等特定成分
• 化学发光法：通过化学反应发光检测氮氧化物
• 光声光谱法：利用声波信号检测气体吸收光能
• 电阻法：通过电阻变化测量颗粒物浓度
• β射线吸收法：利用β射线衰减测定颗粒物质量
• 静电低压撞击器法：分离不同粒径颗粒并计数

检测仪器

• 激光粒子计数器
• 气相色谱仪
• 质谱仪
• 傅里叶变换红外光谱仪
• 电化学气体传感器
• 冷凝核粒子计数器
• 高精度天平
• 离子色谱仪
• 原子吸收光谱仪
• 紫外荧光分析仪
• 化学发光分析仪
• 光声光谱仪
• 电阻式颗粒物监测仪
• β射线吸收颗粒物监测仪
• 静电低压撞击器