半导体FFU容尘检测

信息概要

半导体FFU（Fan Filter Unit）容尘检测是确保洁净室环境中空气过滤设备性能稳定性的重要环节。FFU作为半导体制造、生物医药等高端领域的关键设备，其容尘能力直接影响洁净度等级和生产环境的可靠性。第三方检测机构通过测试，为客户提供FFU容尘性能的客观评估，确保其符合行业标准（如ISO 14644、IEST等）及客户定制化需求。

检测的重要性在于：容尘性能不足可能导致颗粒物穿透过滤器，污染生产环境，进而影响产品良率；同时，容尘量测试可预测FFU使用寿命，优化维护周期，降低运营成本。检测涵盖初始效率、阻力特性、粒子截留能力等核心指标，为设备选型和验收提供科学依据。

检测项目

• 初始过滤效率
• 终阻力测试
• 容尘量测定
• 粒子截留率（0.1μm-5μm）
• 风速均匀性
• 风量稳定性
• 泄漏率检测
• 振动幅度测试
• 噪声水平
• 电机功耗
• 过滤器完整性
• 压降变化曲线
• MPPS（最易穿透粒径）效率
• 耐湿热性能
• 耐腐蚀性能
• 材料析出物检测
• 静电消散能力
• 框架密封性
• 紫外线灭菌效果（如适用）
• 气流流型可视化测试

检测范围

• HEPA FFU
• ULPA FFU
• 智能调速FFU
• 防爆型FFU
• 低噪音FFU
• 无框式FFU
• 不锈钢材质FFU
• 抗菌涂层FFU
• 模块化FFU系统
• 带PAO检测口FFU
• 双风机冗余FFU
• 节能型EC电机FFU
• 耐高温FFU
• 高湿度环境FFU
• V形过滤器FFU
• 可清洗过滤器FFU
• 物联网监控FFU
• 超薄型FFU
• 大风量FFU
• 定制尺寸FFU

检测方法

• 激光粒子计数器法：通过上下游粒子浓度比对计算过滤效率
• 重量法：称量过滤器捕集标准粉尘前后的质量差计算容尘量
• 风速仪扫描法：网格化测量出风面风速分布
• PAO气溶胶挑战测试：验证HEPA/ULPA过滤器完整性
• 阻力压差测试：监测风阻随容尘量增加的变化曲线
• 振动频谱分析：评估风机运行稳定性
• 声级计测量：在标准工况下检测噪声值
• 电参数分析：记录电机输入功率及电流谐波
• 粒子计数效率法：针对MPPS粒径段进行效率测试
• 盐雾试验：评估金属部件耐腐蚀性
• 高温高湿循环测试：模拟极端环境下的性能衰减
• 气流可视化：采用烟雾发生器观测流型
• 材料析出物采集：通过擦拭法或冷凝法检测污染物释放
• 静电测试：测量过滤器表面电阻率
• 密封性检测：使用压力衰减法或气泡法

检测仪器

• 激光粒子计数器
• 风量罩
• 微压差计
• PAO气溶胶发生器
• 光度计
• 振动分析仪
• 积分声级计
• 功率分析仪
• 电子天平（0.1mg精度）
• 盐雾试验箱
• 恒温恒湿箱
• 静电测试仪
• 风速仪
• 泄漏检测仪
• 材料析出物采集套件