真空馈通件放气测试

信息概要

真空馈通件是真空系统中用于电气信号或功率传输的关键组件，其性能直接影响真空环境的稳定性和安全性。放气测试是评估真空馈通件在真空环境下释放气体量的重要检测项目，确保其满足高真空或超高真空应用的要求。通过第三方检测机构的测试，可以有效验证产品的可靠性和耐久性，避免因放气率过高导致真空度下降或系统污染。

检测的重要性在于：确保真空馈通件在长期使用中不会因材料放气而影响系统性能；满足航空航天、半导体制造、科研设备等高精度领域的严苛要求；为产品设计、选材和工艺改进提供数据支持。

检测项目

• 总放气率
• 氢气放气率
• 氮气放气率
• 氧气放气率
• 二氧化碳放气率
• 水蒸气放气率
• 甲烷放气率
• 一氧化碳放气率
• 氦气放气率
• 氩气放气率
• 放气速率随时间变化
• 高温放气率
• 低温放气率
• 热循环后的放气率
• 机械振动后的放气率
• 辐照后的放气率
• 材料表面放气特性
• 材料体放气特性
• 绝缘材料放气率
• 金属材料放气率

检测范围

• 陶瓷真空馈通件
• 玻璃真空馈通件
• 金属真空馈通件
• 复合真空馈通件
• 高频真空馈通件
• 高电压真空馈通件
• 大电流真空馈通件
• 多芯真空馈通件
• 同轴真空馈通件
• 光纤真空馈通件
• 超导真空馈通件
• 微型真空馈通件
• 高温真空馈通件
• 低温真空馈通件
• 耐辐射真空馈通件
• 可拆卸真空馈通件
• 焊接式真空馈通件
• 法兰式真空馈通件
• 直通式真空馈通件
• 直角真空馈通件

检测方法

• 静态升压法：通过测量密闭系统中压力随时间的变化计算放气率
• 动态流量法：利用已知流导的管路和流量计直接测量放气量
• 质谱分析法：通过质谱仪识别和量化放气成分
• 气相色谱法：分离并检测放气中的有机和无机成分
• 热脱附谱法：加热样品并分析释放的气体成分
• 四极质谱法：高灵敏度检测特定气体的放气率
• 红外光谱法：识别放气中的分子结构特征
• 激光吸收光谱法：高精度测量特定气体的浓度
• 残余气体分析法：全面分析真空系统中的气体组成
• 温度编程脱附法：研究材料在不同温度下的放气特性
• 真空烘烤测试：评估高温处理后的放气率变化
• 加速老化测试：模拟长期使用后的放气性能
• 真空紫外辐照测试：研究辐照对放气率的影响
• 机械应力测试：评估机械负载后的放气特性变化
• 循环温度测试：研究热循环对材料放气的影响

检测仪器

• 四极质谱仪
• 残余气体分析仪
• 气相色谱仪
• 红外光谱仪
• 激光吸收光谱仪
• 热脱附谱仪
• 高真空系统
• 超高真空系统
• 涡轮分子泵
• 离子泵
• 冷阴极规
• 热阴极规
• 电容式压力计
• 流量校准仪
• 温度编程控制系统