MOCVD反应剂混合均匀检测

信息概要

MOCVD反应剂混合均匀检测是确保金属有机化学气相沉积（MOCVD）工艺中反应剂均匀分布的关键环节。该检测通过分析反应剂在气相或液相中的混合状态，确保沉积薄膜的均匀性和质量，从而提高半导体、光电子等器件的性能稳定性。检测的重要性在于避免因混合不均导致的薄膜缺陷、成分偏差或性能下降，为高端材料制备提供可靠保障。

检测项目

• 反应剂浓度分布均匀性
• 气相混合均匀度
• 液相混合均匀度
• 反应剂流速稳定性
• 温度分布均匀性
• 压力分布均匀性
• 反应剂残留量
• 混合时间对均匀性的影响
• 反应剂纯度检测
• 颗粒物分布均匀性
• 反应剂挥发性检测
• 混合界面稳定性
• 反应剂分解率
• 沉积速率均匀性
• 薄膜厚度均匀性
• 成分比例一致性
• 反应剂扩散系数
• 混合气体比例偏差
• 反应剂吸附均匀性
• 混合系统密封性检测

检测范围

• 三甲基镓（TMGa）
• 三乙基镓（TEGa）
• 三甲基铝（TMAl）
• 三乙基铝（TEAl）
• 三甲基铟（TMIn）
• 三乙基铟（TEIn）
• 二甲基锌（DMZn）
• 二乙基锌（DEZn）
• 二茂镁（Cp2Mg）
• 硅烷（SiH4）
• 二氯硅烷（SiH2Cl2）
• 氨气（NH3）
• 磷化氢（PH3）
• 砷化氢（AsH3）
• 叔丁基膦（TBP）
• 叔丁基砷（TBAs）
• 一氧化二氮（N2O）
• 六氟化钨（WF6）
• 四氯化硅（SiCl4）
• 四溴化碳（CBr4）

检测方法

• 气相色谱法（GC）：分离并定量分析气相反应剂成分
• 质谱分析法（MS）：检测反应剂分子量及分布
• 傅里叶变换红外光谱（FTIR）：分析反应剂化学键振动
• 激光诱导荧光（LIF）：测量反应剂浓度空间分布
• 拉曼光谱法：识别反应剂分子结构
• 紫外可见分光光度法（UV-Vis）：测定液相反应剂吸光度
• 原子吸收光谱（AAS）：检测金属有机化合物含量
• X射线衍射（XRD）：分析沉积薄膜晶体结构均匀性
• 椭偏仪测试：测量薄膜厚度均匀性
• 四探针法：检测薄膜电阻率分布
• 扫描电子显微镜（SEM）：观察薄膜表面形貌
• 能量色散X射线光谱（EDX）：分析薄膜成分分布
• 质谱流量计（MFM）：准确测量反应剂流量
• 热重分析（TGA）：测定反应剂热稳定性
• 差示扫描量热法（DSC）：分析反应剂相变行为

检测仪器

• 气相色谱仪
• 质谱仪
• 傅里叶变换红外光谱仪
• 激光诱导荧光检测系统
• 拉曼光谱仪
• 紫外可见分光光度计
• 原子吸收光谱仪
• X射线衍射仪
• 椭偏仪
• 四探针测试仪
• 扫描电子显微镜
• 能量色散X射线光谱仪
• 质谱流量计
• 热重分析仪
• 差示扫描量热仪

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