真空管道泄漏率测试

信息概要

真空管道泄漏率测试是确保真空系统密封性能的关键环节，广泛应用于半导体制造、航空航天、医疗设备等高精度领域。第三方检测机构通过设备和方法，为客户提供准确、可靠的泄漏率数据，帮助优化生产工艺并保障产品质量。检测的重要性在于避免因泄漏导致的能耗增加、设备损坏或产品缺陷，从而降低运营成本并提升安全性。

检测项目

• 静态升压法泄漏率
• 动态流量法泄漏率
• 氦质谱检漏仪测试
• 极限真空度
• 残余气体分析
• 密封材料渗透率
• 法兰连接处密封性
• 焊缝泄漏检测
• 阀门密封性能
• 波纹管泄漏率
• 真空泵抽速影响
• 温度变化下的泄漏稳定性
• 振动环境下的密封性
• 长期保压性能
• 微小漏孔定位
• 气体种类适应性
• 压力循环耐受性
• 真空腔体整体泄漏率
• 真空馈通件密封性
• 真空吸附装置泄漏率

检测范围

• 不锈钢真空管道
• 玻璃真空管道
• 陶瓷真空管道
• 橡胶密封真空管道
• 金属波纹管
• 超高真空系统管道
• 低温真空管道
• 高温真空管道
• 半导体工艺真空管道
• 医疗灭菌真空管道
• 航天器燃料输送管道
• 粒子加速器真空束管
• 镀膜设备真空管道
• 真空冶炼炉管道
• 真空冷冻干燥管道
• 真空输送系统管道
• 实验室小型真空管道
• 工业级大型真空管道
• 柔性真空管道
• 复合材质真空管道

检测方法

• 氦质谱检漏法：利用氦气作为示踪气体检测微小泄漏
• 压力变化法：通过监测系统压力变化计算泄漏率
• 气泡检漏法：在液体中观察气泡形成判断泄漏点
• 卤素检漏法：使用卤素气体和敏感探测器定位泄漏
• 红外热成像法：通过温度差异识别泄漏区域
• 超声波检漏法：捕捉气体泄漏产生的高频声波
• 质谱分析法：分析残余气体成分判断泄漏源
• 氦气累积法：封闭系统内氦气浓度增长测量
• 真空计比对法：多真空计读数差异分析
• 示踪气体法：注入特定气体检测其扩散
• 压力衰减测试：记录压力随时间下降速率
• 流量计直接测量法：使用精密流量计量化泄漏
• 四极杆质谱法：高灵敏度检测多种气体泄漏
• 放射性示踪法：极低浓度放射性气体检测
• 激光吸收光谱法：非接触式气体浓度测量

检测仪器

• 氦质谱检漏仪
• 四极杆质谱仪
• 高精度真空计
• 残余气体分析仪
• 数字式流量计
• 红外热像仪
• 超声波检测仪
• 卤素检漏仪
• 压力传感器阵列
• 示踪气体发生器
• 激光光谱分析仪
• 真空系统控制器
• 数据采集系统
• 温度循环试验箱
• 振动测试平台

了解中析

实验室仪器

合作客户