电子厂无尘室过滤器容尘量测试

信息概要

电子厂无尘室过滤器容尘量测试是评估空气过滤器性能的核心检测项目，主要测量过滤器在特定测试条件下捕获和容纳标准粉尘的能力。该项检测直接关系到半导体、液晶面板等电子制造环境中空气洁净度的稳定性，对保障精密元器件生产良率、维持ISO洁净等级具有决定性作用。第三方检测机构通过标准化测试流程，可精准量化过滤器使用寿命，为过滤器更换周期提供数据支撑，避免因过滤器失效导致的产品缺陷或生产线停机风险。

检测项目

• 初始阻力
• 终阻力
• 容尘量极限值
• 粒径分组捕集效率
• 全粒径段效率曲线
• 阻力上升梯度
• 过滤材料均匀性
• 滤料抗撕裂强度
• 密封完整性
• 边框结构稳定性
• 耐湿性能
• 耐温波动性
• VOC释放量
• 静电衰减特性
• 阻燃等级
• 过滤介质克重
• 滤料纤维直径分布
• 迎风面风速均匀性
• 粒子穿透率
• 多次加载稳定性
• 压降容尘关系曲线
• 材料疏水性
• 端面泄漏率
• 框架形变系数
• 分隔物粘结强度
• 氯化钠气溶胶效率
• DOP油雾穿透率
• MPPS效率
• 微生物截留率
• 循环风载耐久性
• 振动耐受性
• 化学腐蚀耐受
• 滤料膨胀系数
• 接缝处泄露率
• 过滤器面速比

检测范围

• 初效板式过滤器
• 袋式中效过滤器
• HEPA过滤器
• ULPA超过滤器
• 活性炭化学过滤器
• 耐高温过滤器
• 耐高湿过滤器
• 抗菌型过滤器
• 静电消除过滤器
• 金属网初效过滤器
• 折叠式V型过滤器
• 无隔板过滤器
• 有隔板过滤器
• 组合式大风量过滤器
• FFU风机过滤单元
• 分子筛过滤器
• 化学 impregnated 滤料
• 纳米纤维覆膜滤材
• PTFE覆膜过滤器
• 玻纤微褶滤材
• 合成纤维深层滤材
• 驻极体静电滤材
• 自支撑无框过滤器
• 可清洗金属滤网
• 防爆型过滤器
• 抗油雾过滤器
• 洁净棚专用过滤器
• 生物安全柜过滤器
• ISO Class 5级过滤器
• 光刻机专用超净过滤器
• 层流罩内置过滤模组
• 回风墙过滤系统
• 新风预处理过滤段
• 压缩空气终端过滤器
• 工艺排气处理滤芯

检测方法

• 重量法容尘测试：通过粉尘加载前后的质量差计算容尘量
• 多分散气溶胶扫描法：使用0.1-10μm多粒径气溶胶评估效率
• 钠焰法效率测试：通过钠盐燃烧粒子检测穿透率
• 计数法效率检测：采用激光粒子计数器进行实时效率分析
• 压降梯度监测：记录粉尘加载过程中阻力变化曲线
• 密封性检漏测试：使用PAO或DOP进行全扫描检漏
• 风洞均匀性检测：在额定风量下测量面风速分布
• 振动疲劳试验：模拟运输及安装工况进行机械强度验证
• 温湿度循环测试：验证极端温湿度条件下的性能稳定性
• 加速老化试验：通过强化环境因素预估使用寿命
• 材料成分分析：采用FTIR检测滤料化学成分
• 纤维结构电镜观测：通过SEM分析滤材微观结构
• 气流阻力测试：依据ISO 5011标准测量初始阻力
• MPPS检测：在最易穿透粒径段进行效率验证
• 可燃性测试：执行UL900标准阻燃等级判定
• VOC采集分析：通过热脱附-GCMS检测有机挥发物
• 抗菌效能验证：采用ISO 20743标准微生物挑战法
• 静电消散测试：测量滤料表面电荷衰减速率
• 破裂强度试验：测试滤材在增压下的结构完整性
• 循环脉冲测试：模拟系统启停工况的耐久性验证

检测仪器

• 气溶胶发生器
• 激光粒子计数器
• 光度计扫描系统
• 风洞测试台
• 微压差传感器
• 电子分析天平
• 液相色谱仪
• 气相色谱质谱联用仪
• 扫描电子显微镜
• 傅里叶红外光谱仪
• 粒子粒径分析仪
• 数字式风速仪
• 材料拉力试验机
• 环境模拟试验箱
• 静电衰减测试仪
• 燃烧性能测试装置
• 振动测试平台
• 风量校准装置
• PAO/DOP检测套装
• 微生物采样器