真空镀膜机密封检测

信息概要

真空镀膜机密封检测是确保设备在真空环境下正常运行的关键环节。该检测主要针对真空镀膜机的密封性能进行评估，以防止气体泄漏、保证镀膜质量，并延长设备使用寿命。密封性能的优劣直接影响镀膜工艺的稳定性和产品良率，因此定期检测至关重要。第三方检测机构提供的密封检测服务，涵盖多项参数和多种方法，确保设备符合行业标准。

检测项目

• 静态升压率
• 动态泄漏率
• 极限真空度
• 抽气时间
• 漏气点定位
• 密封圈压缩率
• 密封材料耐温性
• 密封面平整度
• 密封圈老化程度
• 真空室气密性
• 阀门密封性能
• 法兰连接密封性
• 观察窗密封性
• 馈通件密封性
• 真空泵接口密封性
• 管道连接密封性
• 真空系统保压能力
• 密封圈硬度
• 密封圈弹性模量
• 密封圈耐腐蚀性

检测范围

• 多弧离子镀膜机
• 磁控溅射镀膜机
• 电子束蒸发镀膜机
• 热蒸发镀膜机
• 化学气相沉积镀膜机
• 物理气相沉积镀膜机
• 原子层沉积镀膜机
• 离子束辅助镀膜机
• 卷绕式镀膜机
• 光学镀膜机
• 装饰镀膜机
• 功能镀膜机
• 半导体镀膜机
• 太阳能镀膜机
• 柔性基材镀膜机
• 大型真空镀膜机
• 小型实验室镀膜机
• 连续式镀膜机
• 间歇式镀膜机
• 多功能复合镀膜机

检测方法

• 氦质谱检漏法：利用氦气作为示踪气体检测微小泄漏
• 压力衰减法：通过监测压力变化判断密封性能
• 气泡法：在液体中观察气泡形成以定位泄漏点
• 真空计法：使用真空计测量系统真空度变化
• 红外热成像法：通过温度分布检测泄漏位置
• 超声波检测法：利用超声波探测泄漏产生的声波
• 质谱分析法：分析系统内气体成分变化
• 卤素检漏法：使用卤素气体作为示踪剂
• 氢气检漏法：利用氢气的高渗透性检测泄漏
• 荧光检漏法：使用荧光剂显示泄漏路径
• 声发射检测法：捕捉泄漏产生的声发射信号
• 残余气体分析法：分析真空系统中的残余气体
• 密封圈压缩测试：测量密封圈压缩变形量
• 密封面接触印痕法：评估密封面接触状况
• 氦气累积法：长时间累积氦气检测微小泄漏

检测仪器

• 氦质谱检漏仪
• 数字真空计
• 压力传感器
• 红外热像仪
• 超声波检漏仪
• 残余气体分析仪
• 质谱仪
• 卤素检测仪
• 氢气检测仪
• 荧光检测灯
• 声发射传感器
• 密封圈硬度计
• 表面粗糙度仪
• 光学显微镜
• 气体流量计