掩膜板检测

掩膜板检测单位哪里有？中析研究所实验室提供掩膜板检测服务，出具的检测报告支持扫码查询真伪。检测范围：正射掩膜板，共平面掩膜板，X射线光刻掩膜板，电子束光刻掩膜板，检测项目：尺寸检测，对位精度检测，图案分辨率检测，光透过率检测，表面平整度检测，灵敏度检测。

检测周期：7-15个工作日

掩膜板检测范围

正射掩膜板，共平面掩膜板，X射线光刻掩膜板，电子束光刻掩膜板

掩膜板检测项目

尺寸检测，对位精度检测，图案分辨率检测，光透过率检测，表面平整度检测，灵敏度检测

掩膜板检测方法

尺寸测量：使用光学显微镜、共焦显微镜、投影显微镜等仪器测量掩膜板的尺寸，包括线宽、空隙大小等。

对位精度检测：利用光学测量仪器或电子束扫描仪等仪器来测量掩膜板上不同层次的图案对位误差，以评估对位精度。

图案分辨率检测：使用显微镜或扫描电子显微镜来观察掩膜板上最小可分辨的线条或图案，以评估图案分辨率。

光透过率检测：使用光透过率检测仪器来测量掩膜板的光透过率，以评估其光学性能。

表面平整度检测：使用表面检测仪器如高精度表面粗糙度仪等，测量掩膜板表面的平整度和粗糙度。

灵敏度检测：通过曝光掩膜板并观察其显影结果，评估其灵敏度。

掩膜板检测仪器

高精度光学显微镜，共焦显微镜，投影显微镜，光学表面检测仪，尺寸测量仪，扫描电镜，Ellipsometer

掩膜板检测标准

T/XAI 16-2023覆晶薄膜基板掩膜版图纸设计规范