半导体传感器泄漏检测

信息概要

• 半导体传感器泄漏检测是针对半导体类传感器的密封性能进行的测试，确保其在各种环境下不发生介质泄漏。
• 检测的重要性在于预防因泄漏导致的传感器功能失效，提高产品可靠性、安全性和使用寿命，满足行业标准要求。
• 通过系统化检测，可以有效评估传感器的密封完整性，为产品质量控制提供关键数据支持。

检测项目

• 泄漏率测试
• 压力衰减测试
• 真空检漏测试
• 氦质谱检漏
• 气泡测试
• 质量流量检测
• 压力循环测试
• 温度循环测试
• 湿度测试
• 振动测试
• 冲击测试
• 盐雾测试
• 老化测试
• 电气性能测试
• 绝缘电阻测试
• 耐压测试
• 接触电阻测试
• 响应时间测试
• 灵敏度测试
• 线性度测试
• 重复性测试
• 稳定性测试
• 精度测试
• 分辨率测试
• 零点漂移测试
• 满量程漂移测试
• 过载测试
• 失效分析
• 材料兼容性测试
• 环境适应性测试

检测范围

• MEMS压力传感器
• 气体传感器
• 温度传感器
• 湿度传感器
• 光学传感器
• 化学传感器
• 生物传感器
• 加速度传感器
• 陀螺仪传感器
• 磁力计传感器
• 接近传感器
• 流量传感器
• 液位传感器
• 压力变送器
• 温度变送器
• 光电传感器
• 霍尔效应传感器
• 压电传感器
• 电容式传感器
• 电阻式传感器
• 电感式传感器
• 超声波传感器
• 红外传感器
• 激光传感器
• 图像传感器
• 声音传感器
• 振动传感器
• 扭矩传感器
• 位移传感器
• 力传感器

检测方法

• 氦质谱检漏法：使用氦气作为示踪气体，通过质谱仪检测微小泄漏。
• 压力衰减法：监测封闭系统内压力变化来判断泄漏率。
• 真空检漏法：在真空环境下观察压力上升以检测泄漏。
• 气泡测试法：将传感器浸入液体，通过气泡形成识别泄漏点。
• 质量光谱法：利用质谱仪分析泄漏气体的成分和量。
• 卤素检漏法：使用卤素气体作为示踪剂，通过检测仪查找泄漏。
• 氢质谱检漏法：类似氦质谱法，但以氢气为示踪气体。
• 声学检漏法：通过超声波或声音信号检测泄漏产生的噪声。
• 红外热成像法：使用红外相机捕捉温度差异来识别泄漏。
• 示踪气体法：注入特定气体，并用探测器追踪泄漏路径。
• 压力上升法：在恒定体积下测量压力随时间的变化。
• 流量测量法：直接测量气体流量以评估泄漏大小。
• 积分检漏法：累积一定时间内的泄漏总量进行评价。
• sniffing检漏法：使用手持探头近距离扫描潜在泄漏点。
• 真空箱法：将样品置于真空箱中，外部检测气体泄漏。
• 压力测试法：施加高压或低压检查密封性能。
• 温度冲击法：通过快速温度变化测试材料热胀冷缩下的泄漏。
• 振动测试法：在振动环境中评估机械应力对密封的影响。
• 老化测试法：长时间运行传感器，监测泄漏情况。
• 环境应力筛选法：结合温度、湿度等应力加速泄漏检测。

检测仪器

• 质谱检漏仪
• 氦质谱仪
• 压力衰减测试仪
• 真空泵
• 压力传感器
• 流量计
• 气泡检测装置
• 卤素检漏仪
• 声学检漏仪
• 红外热像仪
• 示踪气体检测仪
• 真空箱
• 压力控制器
• 温度试验箱
• 振动试验台